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國內(nèi)外潔凈技術(shù)的發(fā)展都是隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展特別是軍事工業(yè)、航天、電子和生物醫(yī)藥等工業(yè)的發(fā)展而不斷發(fā)展的。現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品和現(xiàn)代化科學(xué)實(shí)驗(yàn)活動要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性。
要生產(chǎn)這些產(chǎn)品,就必須達(dá)到相應(yīng)的受控生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級。對于現(xiàn)今以“微型電腦”為手段的電子信息時代,產(chǎn)品的高質(zhì)量、高可靠性的重要意義是不言而喻的?;谶@種趨勢,潔凈技術(shù)的發(fā)展已成為現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)實(shí)驗(yàn)活動*的重要標(biāo)志之一。
潔凈室設(shè)計(jì)(包括潔凈空調(diào)設(shè)計(jì))是潔凈技術(shù)的重要組成部分。潔凈廠房內(nèi)的壓力,溫度,濕度,空氣流速以及空氣潔凈度等因素控制的好壞直接影響到生產(chǎn)質(zhì)量是否達(dá)標(biāo)。
一、潔凈室污染控制技術(shù)方案
空氣凈化的主要任務(wù)是根據(jù)各種產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、不同工序、各類房間的空氣潔凈度等級需要,采取空氣過濾技術(shù)措施將潔凈室內(nèi)空氣中懸浮的粒狀或化學(xué)分子污染物質(zhì)降低到允許的濃度下。
潔凈室內(nèi)的污染源主要來自四個方面:
1、大氣中含塵、含菌、凈化空調(diào)系統(tǒng)中新風(fēng)帶入的塵粒和微生物;
2、作業(yè)人員發(fā)塵;
3、建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)、設(shè)施的產(chǎn)塵,這里包括墻、頂棚、地面和一些裸露管線的產(chǎn)塵;
4、設(shè)備及產(chǎn)品生產(chǎn)過程的產(chǎn)塵。
為保證產(chǎn)品環(huán)境或其他用途的潔凈室所要求的空氣潔凈度,要采取多種綜合技術(shù)措施才能達(dá)到要求。這些綜合措施包括:應(yīng)采用產(chǎn)生污染物少的生產(chǎn)工藝及設(shè)備,或采取必要的隔離和負(fù)壓措施防止生產(chǎn)工藝產(chǎn)生的污染物質(zhì)向周圍擴(kuò)散,采用產(chǎn)塵少、不易滋生微生物的室內(nèi)裝修材料及器具;減少人員及物料帶入室內(nèi)的污染物質(zhì);維持生產(chǎn)環(huán)境相對于室外或空氣潔凈度等級要求高的環(huán)境有一定的正壓,防止室外或鄰室的空氣攜帶污染物質(zhì)通過門窗過其他縫隙、孔洞侵入;加強(qiáng)潔凈室的管理,按規(guī)定進(jìn)行清掃、滅菌等。
除采取上述種種技術(shù)措施之外,為使生產(chǎn)環(huán)境或其他用途的潔凈室室內(nèi)環(huán)境控制在所要求的空氣潔凈度等級,重要的技術(shù)措施是需要送入足夠量的經(jīng)過處理的清潔空氣,以替換或稀釋室內(nèi)在正常工作時所產(chǎn)生的污染空氣。潔凈室的空氣凈化處理就是根據(jù)房間不同的潔凈度等級要求,采取不同方式送入經(jīng)過處理的數(shù)量不等的清潔空氣,同時排走相應(yīng)數(shù)量的攜帶有污染物質(zhì)玷污的空氣,靠這樣的動態(tài)平衡,使室內(nèi)環(huán)境維持在所需的空氣潔凈度等級。
目前潔凈室對送入空氣的潔凈方法,重要和使用廣泛的方式是空氣過濾法。送入潔凈室的清潔空氣,主要是靠送風(fēng)系統(tǒng)的各個部位設(shè)置不同性能的空氣過濾器,用以除去空氣中的懸浮粒子和微生物。
下面將對潔凈室污染控制領(lǐng)域中比較新穎的技術(shù)方案進(jìn)行介紹:
(1)用傳統(tǒng)的噴水室濕式處理空氣法來處理新風(fēng)中的化學(xué)物質(zhì)。近幾年來許多 開展了很多研究證明了其有效性。
(2)采用有殺菌作用的HEPA過濾器(殺菌酵素過濾囂)。過去采用金屬離子的毒性來殺菌,如銀型陽高于交換纖維制成的空氣過濾器,現(xiàn)今可采用從生物體中提取的天然酵素將細(xì)菌的細(xì)胞壁溶解以達(dá)到殺菌的目的,是一種安全的滅菌措施,它防止了過濾器上微生物增殖所產(chǎn)生的二次污染。
(3)采用UV光電子空氣凈化方法。這種方法不同于普通的靜電過濾器。該方法利用將紫外線照射在金屬膜層上產(chǎn)生的光電效應(yīng),在空氣中產(chǎn)生電子和負(fù)離子使流經(jīng)的污染物質(zhì)荷電并被集塵極捕集(圖1所示)。目前在有限的小空間范圍內(nèi)已有應(yīng)用。
(4)采用除海鹽粒子過濾器。沿海岸地區(qū)空氣中含鹽量較多,臺風(fēng)等強(qiáng)風(fēng)作用下會更高。
這種狀況對微電子工廠極為不利?,F(xiàn)在有兩種措施:
1)所采用的濾材即使在 鹽分附著后不容易析出;
2)在空調(diào)箱進(jìn)入段處先設(shè)噴水段及檔水板,可先捕集90%的海鹽粒子,再經(jīng)普通的空氣過濾器清除未被捕集的粒子。噴霧用水應(yīng)直接排放出,不予回收。對于臨海設(shè)置的微電子工廠在空調(diào)凈化裝置中應(yīng)予考慮。
(5)采用智能型空氣離子凈化系統(tǒng)。近幾年來歐洲開發(fā)了一種智能化凈化系統(tǒng),它利用離子發(fā)生工作單元的高壓電離原理,釋放出穩(wěn)定的正負(fù)電氧離子族,帶電氧離子與VOC物質(zhì)發(fā)生反應(yīng),以達(dá)到去除臭味凈化空氣的目的。
為保證室內(nèi)空氣質(zhì)量處于理想狀態(tài),該系統(tǒng)還配有智能化控制系統(tǒng),通過送風(fēng)管上的風(fēng)速、濕度和傳感器及回風(fēng)管和新風(fēng)管中的空氣品質(zhì)傳感器并將檢測數(shù)據(jù)傳到電離控制器,以控制離子發(fā)生單元的工作強(qiáng)度,自動控制室內(nèi)的空氣品質(zhì),同時這些數(shù)據(jù)通過傳送器和網(wǎng)絡(luò),可以進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控。
(6)采用新型空氣吹淋室。傳統(tǒng)的吹淋室對人體吹淋停止后,小室內(nèi)的含塵空氣有可能被帶入車間,新改進(jìn)的吹琳室,具有快速自凈的功能,當(dāng)停止吹淋氣流后,可部分轉(zhuǎn)換成頂部垂直氣流,這樣可使小室內(nèi)空氣含塵量很快降低,達(dá)到自凈效果。
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